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Ar-PSA
브로슈어
  • 원리
    흡착제 제오라이트에서는 질소, 일산화탄소, 탄산가스에 비해, 아르곤의 흡착량은 적게 분해가 가능합니다.
    따라서, 상기의 가스 등을 포함하는 아르곤 혼합가스에서 고순도 아르곤의 회수 정제가 이루어 집니다.
  • 특징
    1. 고순도 아르곤(max. 99.99%)의 회수가 가능합니다.

    2. 아르곤 회수율이 70~80%로 높습니다.
  • 용도
    1.철강업
       RH진공탈가스에서 아르곤 회수.
       연주설비 배가스에서 아르곤 회수.
       LF로 배가스에서 아르곤 회수

    2. 반도체
        실리콘 단결정 배가스에서 아르곤 회수

    3. 기타
        각종 아르곤함유 배가스에서의 아르곤 회수
  • 프로세스(상압재생방식)
    프로세스에 관심이 있으신 분은 당사 연구소로 문의바랍니다..

     
  • 사양
    능      력 : max. 1,000m³/h(nor.) 1개열당

    순      도 : max. 99.99%

    수      분 : 이슬점 -70ºC at 1atm